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单片湿法设备-背面腐蚀清洗 BGBM

单片湿法设备-背面腐蚀清洗 BGBM

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2870mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

单片湿法设备-金属剥离-Metal lift off

外形尺寸：长 x 宽x高(单位mm)=2470mmx2000mm×2130mm(分体进场，不同配置长度会变化)
槽式湿法设备(Cassette Less )

槽式湿法设备(Cassette Less )

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 
槽式湿法设备(Cassette Type)

槽式湿法设备(Cassette Type)

1.占地面积小  2.单位产出高  3.优化的空气和槽体流场 
全自动腐蚀机

全自动腐蚀机

单体全自动机

单体全自动机

多模块半自动机

多模块半自动机

具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
酸碱腐蚀清洗机

酸碱腐蚀清洗机

具备IPA Dry、Spin Dry选择； 可预设多条Recipe,操作简洁、可支持多批次清洗提升产量
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